c) 新风量检测要求及方法
新风量检测应在室外无风或微风条件下进行 无尘车间安装,测定新风口各点风速,然后求得平均风速,换算为新风量。
d) 温湿度检测要求及方法
室内温湿度测定为距地面0.8m高的中心点,测出室内温湿度之后,应同时测出室外温湿度。在回风口处检测一点,记录恒定后的温湿度数据。
e) 照度检测要求及方法
照度检测应在光源输出趋于稳定,无自然采光条件下进行。测点距地面0.8m,离墙面0.5m,按间距不**过2m均匀布点。在室内均布测点 无尘车间,检测各点照度,并记录数据,然后求得平均值。
f) 噪音检测要求及方法
噪声检测宜在外界干扰较小的晚间进行,以A声级为准。不足15m2的房间在室中心1.1m高处测一点,**过15m2的在室中心和四角共测5点 无尘车间方案,记录各点数据,并求得平均值;同时检测各项设备停用后的静态数据进行对照。
g) 洁净度检测要求及方法
在检测前,系统应已运行60min,其它净化房间应已运行40min。在室内均布测点,在每个测点以标准检测流量2.83L/MIN,检测3min,记录0.5μm的尘埃粒子数量。
无尘室内系统除了通称的空调系统之外,制程设备也包括在内,本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。
无尘室内之生产制造设备注意之重点有三:
1.生产设备之选择、布置与保养:
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
h.应加强注意室内的温湿度控制 专业无尘车间生产,避免因湿度之不当造成结露生锈。
i.当设备维修时易产生微尘粒子,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
j.对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
k.应有无尘室**工具组,但不得带出无尘室外使用。
l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室,将是一理想之规划。